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psl拉线什么意思

psl拉线什么意思

PSL拉线通常指的是在半导体制造中的一种技术,具体为Pattern Shift Lithography,即图案移动光刻。这项技术通过在光刻过程中对图案进行微小的移动,可以提高分辨率和图案形状的精确度。

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